產(chǎn)品特點：

• 單級式減壓器
• 表面光潔度 10μin. Ra (25μin. Ra 可選)
• 內(nèi)部體積小，吹掃時間短
• 材質(zhì)分別使用 SS 316L，Hastelloy® C276 和 PCTFE 制成
• 壓力表與本體直接連接
• 流量: 30 slpm (標準), 120 slpm (可選)
• 壓力控制精確
• 硬密封結(jié)構(gòu)
• 手輪控制壓力，操作簡單
• 100%氦氣泄漏檢測
• 膜片閥芯一體式設(shè)計

技術(shù)參數(shù)：

類型: 單級式減壓
進氣壓力 P1: 最大 3500 psig
出氣壓力 P2: 10/30/60/100/150 psig
表面光潔度: 10μin. Ra (25μin. Ra 可選)
材質(zhì)
母體: 詳見訂購參數(shù)
閥座: PCTFE (Vespel® 可選)
膜片: Hastelloy® C276
進/出氣連接: 1/4” / 3/8” VFS接頭或焊接接管
閥蓋端口: 1/8” NPT (在面板安裝選項上，閥蓋端口沒有螺紋)
溫度適用: -40oF to +160oF (-40oC to +71oC)
泄漏率: (外部) 1x10-9 mbar I/s He
(內(nèi)部) 1x10-8 mbar I/s He
流量參數(shù): Cv=0.09 (Cv=0.15 可選)
重量: 約1.35kg
供壓效應(yīng): Cv=0.09 進氣壓力每下降100 psig 出氣壓力上升0.35 psig
               Cv=0.15 進氣壓力每下降100 psig 出氣壓力上升0.5 psig